Optical Character Verification auf Wafern (OCV)

Aufgabenstellung:

Das Beschriften von Produkten mit Klarschrift ist in der Industrie weit verbreitet. Doch zum Teil ist es für das menschliche Auge nicht möglich die Schrift zu lesen. Sei es eine spiegelnde Oberfläche, schlechte Markiersysteme oder einfach die Größe der Schrift. Speziell in der Halbleiterindustrie ist es schwer, dem menschlichen Auge gerecht zu werden und kleine Bauteile mit großen Zeichen zu versehen. Das größte Problem ist, wenn alle diese Umstände zutreffen. Für diese Situation soll ein Bildverarbeitungssystem erstellt werden, das das menschliche Auge ersetzt und das Lesen von Klarschrift auf Wafern übernimmt, sodass eine gleichbleibende Qualität gewährt werden kann.

Realisierung:

Mit Hilfe eines PC-gestützten Bildverarbeitungssystems wurde beim Kunden eine Lösung integriert, die dies möglich macht. Die Softwaretools von Activ Vision Tools dienten als Grundlage, um an dieses Problem zu lösen. Durch Einsetzen einer speziellen Beleuchtung wird eine homogene Oberfläche auf dem Wafer geschaffen. Diese Oberfläche wird mit einer CCD-Kamera aufgenommen. Die Software liest die Klarschrift auf dem Wafer aus und vergleicht die Zeichenkette mit einer bereits existierenden Datenbank (Optical Character Verification -> OCV). Dies führt zur rechtzeitigen Aussortierung von Fehlteilen, die sonst weiterveredelt worden wären.

Kundennutzen:

Die eingebaute Lösung ermöglicht dem Kunden, wichtige Ressourcen einzusparen und diese an anderen Arbeitsplätzen zu nutzen. Der zeitliche Aufwand beim Schichtwechsel entfällt und verbessert die Produktionszeit.